美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),EFG-7 EGPS-1017

美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV）

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
2. 钇涂层铱片（Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
3. 钽盘阴极
4. 单晶六硼化镧 （LaB₆，小光斑，高亮度，最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。 低能耗系统，能量范围为 1 eV 至 5 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸为 0.5 mm 至 100 mm。下表提供了电子枪系统规格以及每个低能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

EFG-7 EGPS-1017描述

聚焦或均匀的广角低能电子束 10 eV 至 1500 eV 应用：

表面物理研究
真空物理实验
电荷中和
电子解吸
表面清理
荧光粉测试
电离实验
半导体加工

功能/选项：

参数可控性广
泛光光束或窄角光束
静电聚焦
偏转、光栅、脉冲
可拆卸喷枪
电脑 / 遥控器

能量范围：10 eV 至 1500 eV 光束电流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA 光斑尺寸：1mm 至 100mm 安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸选项 特点/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲 Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-1017 电源旨在用于各种超高真空（UHV）物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。 EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。标准型号 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高电流选项提供高达 1 mA 的光束电流。居中、偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪，并使用圆柱形 4 极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 最多 10^-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。使用法拉第杯时，最大值为 65^oC 除非被删除。