
美国Advanced Photonics Inc 气体净化器 Model C-2000准分子激光气体净化器 API进口代理
Model C-2000准分子激光气体净化器
Excimer Laser Gas Purifiers
For ArF & Fluorine Laser Applications 对于ArF和氟激光应用
对于工作在ArF和F的激光器2LN2冷却C-2000经济实惠,易于使用,高度可靠。C-2000还易于安装、操作和维修。自动LN2补充可以作为一个额外的选择。C-2000也可以作为API C-6000型净化器进行改装,用于多气体操作。粒子过滤 | < 0.1 microns; > 99.95% retention |
工作温度 | 77 K。 |
气体循环流速 | 30标准升/分钟 |
气体压力范围 | 1至5巴(绝对压力) |
净液氮容量 | 14升 |
规模 | 22英寸高x 19英寸宽x 22英寸深 |
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