美国Thermionics Hydra动态源电子枪 Hanks 蒸发源

动态源电子枪

我们的高效Hydra动态源电子枪提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直性，消除了光束卷曲。我们创新的Hanks Hydra 动态源电子枪设计由一或两个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们彼此线性平移，可同时提供多达六种不同材料的共沉积。 Hydra 动态源电子枪的尺寸也是标准e-Guns的2/3，而磁场效率则提升了350%。

Hydra 动态源电子枪主要特点： 优化的发射器和扫描线圈组件消除了磁极组件，垂直安装的磁铁减少了磁通量 0-200 Hz 扫描，重复性好，均匀蒸发，无“隧道效应”及源材料喷发精确稳定的蒸发速率，最低可达1-2 A/sec 比传统蒸发源小35%，在相同体积、蒸发速率和功率容量下提供高真空（HV，2×10^-9 Torr）和超高真空（UHV，2×10^-11 Torr）版本适合顺序蒸发或共同蒸发提供电源、坩埚衬垫及其他配件

动态源电子枪主要型号： Single — 7 cc 至 156 cc 单坩埚 / 1 发射器 – 6-20 kW Single Rotary — 7 cc 至 25 cc – 4 坩埚 / 1 发射器 – 6 & 10 kW Twin™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 坩埚 / 2 发射器 – 10 & 15 kW Triad™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 坩埚 / 3 发射器 – 6 & 10 kW Quadra — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 坩埚 / 4 发射器 – 6 & 10 kW Hydra-1™ — 单阵列 5 个坩埚 / 1-3 发射器（详细信息见 Hydra 描述） Hydra-2™ — 双阵列 5 个坩埚 / 1-3 发射器，共计 10 个坩埚 / 2-6 发射器（详细信息见 Hydra 描述） Hanks HM² e-Guns 受以下一个或多个专利保护：4,835,789; 4,891,821; 4,947,404

Hydra动态源电子枪配置高效利用空间，支持四种不同的六个坩埚组合，以及最多42种两金属组合的排列，在单次真空抽气中实现共沉积。 Hydra动态源电子枪消除了相邻源之间的相互影响，无需复杂的束流方向和笨重的场屏蔽组件。因此，共蒸发设计允许源间距离接近，从而实现均匀涂层和材料相互作用。此外，每个源的独立水冷却防止蒸汽积聚，并且每个源配有独立的扫频线圈，确保每个源的操作参数完全独立于相邻源。

Hydra-1 & 2 技术参数：

特征	10 kW Model	15 kW Model
最大功率	10 kW	15 kW
坩埚体积	10/15 cc	40 cc
发射电压	10 kV	10 kV
发射电流	0 to 1.0 A	0 to 1.5 A
灯丝	700 W	700 W
电子束偏转	220°	220°
光束光斑尺寸	0.25″ diameter	0.25″ diameter
蒸发率 (for 铝)	1 gm/min at 10 kW 3.6 microns at 25 cm	1.5 gm/min at 15 kW 50,000 Å min
X和Y扫描	超单带扫描（0-200Hz）	超单带扫描（0-200Hz）
水	3.0 gpm/坩埚，普通回流（高达30 gpm）	3.0 gpm/坩埚，普通回流（高达30 gpm）
坩埚材料	OFE copper	OFE copper
烘烤温度	230°C (446°F)	230°C (446°F)
电子枪尺寸——单阵列	6.25″ x 5.5″ x 15″	6.25″ x 5.75″ x 15″
电子枪尺寸——双阵列	6.25″ x 11″ x 15″	6.25″ x 11.5″ x 15″