RNN™ 系列差动泵送旋转密封
差动泵旋转密封 （RNN） 通过 UHV 系统的真空壁提供 360° 连续旋转自由度。RNN 具有两级差动泵送，由特殊密封表面上的石墨浸渍、膨胀、特氟龙®密封件隔离。预紧的滚珠轴承组可精确控制旋转平台的位置。
RNN 提供蜗杆驱动微调选项。这允许更轻松、更准确地调整角度。RNN 还提供带消隙步进或同步电机驱动的产品。
列出了内径最大为 12 英寸的 RNN。更大的 ID 具有卓越的性能。特殊应用请咨询工厂。
规格
- 标准净内径为 1.53 英寸至 12 英寸的型号，可根据要求提供更大尺寸
- 可烘烤至 150°C
- 固定法兰和旋转法兰，螺纹
- 厚度约为两个 ConFlat 型法兰的厚度
- 2 级差压泵送
- 极限压力 10-11Torr 系列
- 0–360° 刻度，带游标
RNN-400 和更大型号的典型性能规格
- 分辨率：<0.004°
- 重复精度：<0.008°
- 背隙：<0.035°
可读性规格
- 标准刻度：1.0°
- 机械计数器：0.1°
- 需要微步电机驱动才能获得最大分辨率
选项
- 微调蜗杆传动
- 微调数字读数，0.1° 读数，机械，不可复位
- 提供机械计数器选项
- 带手动旋钮的消隙步进电机驱动每整步 0.018°（RNN-150/MS 为 0.0225°/全步）
- 可在 /FA 装置上提供定制的泵出管长度和曲轴长度
负载
下面列出了标准的最大负载。在特定应用下可以处理较大的负载。请咨询工厂以获取定制应用程序。
- 有效载荷的重心位于装置极轴的“X”范围内，其中 X 等于 RNN 内径的 10%。
- 有效载荷的重心位于水平安装装置上旋转法兰的“Y”距离内，其中 Y 是法兰内径。
- 真空外部有效载荷的总体最大尺寸“A”为：
垂直操作：7 x 法兰外径 水平操作：5 x 法兰外径 倒置操作：7 x 法兰外径
负载位置
表 1.RNN 系列差动泵旋转密封件
（包括可拆卸的调节扳手）
| 身份证 |
法兰
外径 |
一个 |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
型号 |
| 1.53 |
2.75 |
4.50 |
2.99 |
1.0 |
3.18 |
2.75 |
.49 |
.13 |
60° |
RNN-150 型 |
| 1.53 |
2.75/61 |
6.00 |
2.99 |
1.34 |
3.33 |
2.75 |
.15 |
.13 |
45° |
RNN-150/6型 |
| 2.53 |
4.5 |
5.75 |
3.64 |
1.36 |
3.58 |
4.50 |
.49 |
.03 |
45° |
RNN-250 系列 |
| 2.53 |
4.5/61 |
6.00 |
3.64 |
1.52 |
3.71 |
4.50 |
.33 |
.03 |
45° |
RNN-250/6 型 |
| 4.03 |
6 |
7.75 |
4.57 |
1.68 |
4.34 |
6.02 |
.37 |
.06 |
45° |
RNN-400 系列 |
| 6.03 |
8 |
10.25 |
6.16 |
1.74 |
5.70 |
8.00 |
.42 |
.13 |
54° |
RNN-600 系列 |
| 8.00 |
10 |
12.05 |
7.03 |
1.94 |
6.70 |
10.00 |
.42 |
.13 |
45° |
RNN-800型 |
| 10.00 |
13.25 |
15.75 |
8.81 |
2.37 |
8.50 |
13.28 |
.29 |
.13 |
24° |
RNN-1000 系列 |
| 12.00 |
14 |
20.00 |
– |
3.34 |
– |
– |
– |
– |
– |
RNN-1200型 |
尺寸（英寸）
1分别表示安装法兰尺寸
表 2.RNN/FA 差动泵送旋转密封，带微调 1
| 身份证 |
法兰
外径 |
一个 |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
我 |
驱动
比 |
型号 |
| 1.53 |
2.75 |
5.13 |
3.38 |
1.00 |
4.95 |
2.75 |
.49 |
0.37 |
60° |
3 |
80:1 |
RNN-150/FA 系列 |
| 1.53 |
2.75/62 |
6.00 |
3.84 |
1.34 |
5.32 |
2.75 |
.15 |
0.37 |
45° |
3 |
100:1 |
编号 RNN-150/6/FA |
| 2.53 |
4.5 |
6.38 |
4.20 |
1.36 |
6.11 |
4.50 |
.49 |
0.41 |
45° |
3 |
100:1 |
RNN-250/FA 系列 |
| 2.53 |
4.5/62 |
6.38 |
4.20 |
1.52 |
6.11 |
4.50 |
.33 |
0.41 |
45° |
3 |
100:1 |
编号 RNN-250/6/FA |
| 4.03 |
6 |
8.50 |
8.25 |
1.68 |
9.28 |
6.02 |
.37 |
0.54 |
45° |
4 |
100:1 |
RNN-400/FA 系列 |
| 6.03 |
8 |
10.25 |
8.50 |
1.74 |
9.93 |
8.00 |
.42 |
1.10 |
54° |
5 |
100:1 |
RNN-600/FA 系列 |
| 8.00 |
10 |
12.75 |
9.56 |
1.94 |
11.50 |
10.00 |
.42 |
1.10 |
45° |
5 |
100:1 |
RNN-800/FA 系列 |
| 10.00 |
13.25 |
17.00 |
11.86 |
2.37 |
17.25 |
13.28 |
.29 |
.91 |
24° |
7 |
100:1 |
RNN-1000/FA 系列 |
| 12.00 |
14 |
咨询工厂 |
RNN-1200/FA 系列 |
尺寸（英寸）
1微调装置采用蜗杆传动，在 RNN-400 和更大型号上具有动态反冲功能。它们带有大旋钮和曲柄手柄。
2分别表示安装法兰尺寸
表 3.RNN/MS 或 /MY 差动泵浦旋转密封件，带抗反冲/MS 步进或 /MY 同步电机驱动 1
身份证
|
法兰
外径
|
一个
|
B
|
C
|
D
|
E
|
F
|
G
|
H
|
我
|
驾驶
率
|
型
不。
|
| 1.53 |
2.75 |
5.13 |
10.00 |
1.00 |
9.97 |
2.75 |
.49 |
0.74 |
60° |
3.39 |
80:1 |
RNN-150/MS 或 /MY |
| 1.53 |
2.75/62 |
5.13 |
10.00 |
1.34 |
9.97 |
2.75 |
.15 |
0.74 |
45° |
3.39 |
100:1 |
RNN-150/6/MS 或 /MY |
| 2.53 |
4.5 |
6.38 |
10.10 |
1.36 |
8.30 |
4.50 |
.49 |
0.41 |
45° |
3.39 |
100:1 |
RNN-250/MS 或 /MY |
| 2.53 |
4.5/62 |
6.38 |
10.10 |
1.52 |
8.30 |
4.50 |
.33 |
0.41 |
45° |
3.39 |
100:1 |
RNN-250/6/MS 或 /MY |
| 4.03 |
6 |
8.50 |
9.77 |
1.68 |
11.69 |
6.02 |
.37 |
0.54 |
45° |
3.39 |
100:1 |
RNN-400/MS 或 /MY |
| 6.03 |
8 |
10.20 |
10.13 |
1.74 |
11.69 |
8.00 |
.42 |
1.10 |
54° |
3.39 |
100:1 |
RNN-600/MS 或 /MY |
| 8.00 |
10 |
12.75 |
11.39 |
1.94 |
11.69 |
10.00 |
.42 |
1.10 |
45° |
3.39 |
100:1 |
RNN-800/MS 或 /MY |
| 10.00 |
13.25 |
咨询工厂 |
RNN-1000/MS 或 /MY |
| 12.00 |
14 |
咨询工厂 |
RNN-1200/MS 或 /MY |
| 18.00 |
24 |
咨询工厂 |
RNN-1800/MS 系列 |
| 24.00 |
34 |
咨询工厂 |
RNN-2400/MS 系列 |
尺寸（英寸）
1电机驱动单元采用蜗杆驱动，并且都是动态消隙，电机后部带有手动旋钮
2分别表示安装法兰尺寸
选项
机械计数器
- 将数字读数添加到微调或电机驱动单元
- 0.1° 读数，机械，不可复位
- 可从侧面查看
- 因安装在平台上的设备阻碍了度级的视野而引起的困难的解决方案
- 选择 /MC 选项时，不包括游标刻度
阀组系统
- 允许第一级泵排空第二级泵
- 包括：两个改进的 1.33 英寸外径法兰接头;BVV-025 可烘烤阀门;柔性金属管道
- 在 RNN 平台上组装
2 l/s 附件离子泵组件
- 与阀组系统一起使用
- 允许连续泵送 RNN
- 包括 Alnico 磁铁
- 需要离子泵控制单元
离子泵控制单元
- 用于 2 l/s 附件离子泵组件
- 电源输入：115 VAC，60 Hz 或 230 VAC，50 Hz（订单时指定）
- 电源输出：5 kV DC
- 包括 HV 同轴电缆和电源线
