Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck

Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC 夹具 [P1001-045] WPWC20x20

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps

Mechanical clamping ring for 100mm wafer

size: 100mm

For KOH or TMAH or HF etching

Chip size: 20 mm x 20 mm

Chip thickness: to be defined +/- 40um

Edge exclusion: 3 mm

Backside protected

Ventilation tube 150mm

Sealing rings KOH or TMAH or HF resistant

Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC 夹具 [P1001-045] WPWC20x20

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