使用idonus UV-EXP150R自动进行UV-LED光刻
客户需要在宽面板上执行UV光刻（365 nm波长）。 我们为他提供了将IDONUS UV-LED曝光系统UV-EXP150R与电动XY平台相结合的方法。 首先，我们需要调整XY工作台，以使电动机能够移动超过50千克的有效负载。 曝光周期通过专用的图形用户界面（GUI）启动。 可编程逻辑控制器（PLC）驱动电动平台和UV-EXP150R。 客户只需要将其参数保存在CSV文件中，该文件包含：X和Y坐标，曝光设置。 [video width="2160" height="1440" mp4="https://www.bihec.com/idonus/wp-content/uploads/sites/55/2020/10/Automated-UV-LED-photolithography-with-the-idonus-UV-EXP150R_new.mp4"][/video]
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