荷兰Xensor Integration XEN-3920-P2RW热导率计,热导率传感器元件,Xensor传感器,位置检测

Xensor Integration XEN-3920 热导率计测量周围气体的热导率。它利用气体导热系数不同的原理，可用于测量组分气体具有不同导热系数的二元混合物或准二元混合物中的气体浓度。它还可以用作皮拉尼压力计来测量真空系统中的压力。传感器芯片由带有 2 个氮化硅膜的硅边缘组成。每个膜的中心都有一个加热器，并有一个传感器元件测量其温度。该芯片测量环境与膜中心之间的热导率。标准 XEN-3920 包括带有芯片的 TO-5 接头、芯片上方的顶部（硅盖）以降低对流动效应的敏感性，以及焊接在 TO-5 外壳上的带过滤器的盖子。芯片旁边是一个用于环境温度测量的 Pt100 或 Pt1000。 Xensor Integration XEN-3920-P2RW 热导率计测量原理： Xensor XEN-3920测量薄膜中心的热电堆热结和芯片框架上的冷结之间的热阻。这是通过使用加热器电阻器加热膜的中心来实现的。通过热电堆测量中心的温度升高。实际温度升高取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这受到环境气体热阻的影响 Xensor Integration XEN-3920-P2RW 热导率计主要应用： . 氢气、氦气和天然气测量 •用氦气测试氢气系统 •包装和真空系统中的真空测量 •气体浓度测量 Xensor Integration XEN-3920-P2RW 热导率计主要特征： •二元和准二元混合物中气体的长期稳定分析 •高灵敏度和分辨率 •工作温度：-250°C至150°C •湿度：0至95%RH，非冷凝 •使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件进行温度测量 •可忽略的流量灵敏度 Xensor Integration XEN-3920-P2RW 热导率计性能 环境温度22°C和1 V电源尺寸 ------------------------------------------------------------ size naked die (mm3) 2.50 x 3.33 x 0.3 Size TO-5 header (mm2) 9 Ф x 6 Length pins (mm) 14 weight on TO-5 (g) 0.72 weight on TO-5 + cap + filter (g) 1.05 输出 --------------------------------------------------------------------- in vacuum at < 1 mPa (V/W) tbd in air at 100 kPa (V/W) 42 in air at 10 MPa (V/W) tbd in helium at 100 kPa (V/W) tbd in helium at 10 MPa (V/W) tbd 时间常数 ---------------------------------------------------------------- in air (ms) 9 in vacuum (ms) 36

稳定性

short term, 1 day (ppm) 1 long term, 1 year (ppm) 300