美国 AP TECH,电子源,锆钨（ZrOW）热场发射器（TFE）,肖特基源,适用于需要高亮度,提高空间分辨率,稳定发射和长寿命的电子束应用

美国 AP TECH,电子源,锆钨（ZrOW）热场发射器（TFE）

锆钨（ZrOW）热场发射器（TFE）

热场发射器（TFE）与热电子发射器一样被加热，但也经过电化学蚀刻，具有显微镜下锋利的尖端，类似于冷场发射器的方式。

由于发射器的清晰度及其在操作过程中指向抑制器的方向，在源尖端会产生非常高的电场。

场对势垒的降低以及通过加热提供给电子的热能产生了能够在非交叉模式（或虚拟源模式）下运行的源。因此，与热离子发射器不同，TFE 不受空间电荷限制，并且比典型的热离子源亮几个数量级。

APT 现在提供锆钨热场发射器（ZrOW TFE），俗称肖特基源。ZrOW TFE 是行业标准发射器，适用于需要高亮度、提高空间分辨率、稳定发射和长寿命的电子束应用。

我们的 ZrOW 源符合一般 OEM 性能规格和操作参数，可以使用定制的端形（半径）几何形状和任何发射极基座/抑制器配置（包括 FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL 或定制配置）制造。

使用此图表可比较我们的 TE、CFE 和 TFE 离子源的一般操作要求和性能规格

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