美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,二极管磁控管Diode Magnetron

美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,二极管磁控管Diode Magnetron Angstrom Sciences, Inc. 成立于 1988 年,为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发,很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。

Diode Magnetron

在二极管溅射中,不使用磁铁,因此没有磁场来容纳等离子体。这意味着等离子体离子在整个真空系统中自由流动,并腐蚀了靶材的几乎整个表面积,从而提高了靶材的利用率。然而,这也意味着溅射薄膜颗粒可以自由地在整个腔室中移动,而不是直接移动到基板上。这可以显著增加您的加工时间,并且由于没有电子限制,基板将看到更多的热量。
Angstrom Sciences 提供适用于所有阴极尺寸的二极管。

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