Logosol/Isel,LPA 系列晶圆预对准机/晶圆校准器/WAFER PREALIGNERS 选型指南
Logosol/Isel,LPA 系列晶圆预对准机/晶圆校准器/WAFER PREALIGNERS 选型指南
LPA 系列特征
创新、高性能、兼容Class 1级洁净室
独特的一体化设计，省去了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用的兼容性
扫描电子器件、运动控制器和电源集成于行业标准尺寸的机身内
采用超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应
先进的扫描电子技术能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同尺寸之间进行机械重新定位
与晶圆搬运机器人无缝对接，支持所有晶圆尺寸（45mm至480mm）以及相应尺寸的方形基板
Logosol控制软件提供全面的指令集，便于与各种半导体平台兼容和对接
快速对准循环时间，有助于实现系统最大吞吐量
可作为独立设备，也可与晶圆搬运机器人配合作为嵌入式设备使用
保持方式包括真空式、非真空式和边缘抓取式
LPA 系列选型指南
LPA 型号编码说明
晶圆尺寸代码：
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26 = 2英寸～6英寸
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38 = 3英寸～8英寸
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58 = 5英寸～8英寸
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312 = 3英寸～12英寸
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812 = 8英寸～12英寸
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1218 = 12英寸～18英寸
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4EH = 仅4英寸（边缘抓取）
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5EH = 仅5英寸（边缘抓取）
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6EH = 仅6英寸（边缘抓取）
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68EH = 6英寸和8英寸（边缘抓取）
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8EH = 仅8英寸（边缘抓取）
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8ET = 仅8英寸（TAIKO边缘抓取）
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12ET = 仅12英寸（TAIKO边缘抓取）
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81ZH = 8英寸和12英寸
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8TFW = 8英寸晶圆框架
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8FS = 仅8英寸（平边/缺口？）
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12FS = 仅12英寸（平边/缺口？）
安装方式：
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1E = 嵌入式（Embedded）
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3 = 独立式（Standalone）
卡盘（Chuck）
保持方式：
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V = 真空（Vacuum）
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R = 减少接触（Reduced Contact）
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C = 定制（Custom）
卡盘直径（mm）：
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标准尺寸：
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23 用于 2英寸～5英寸
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23 用于 2英寸～6英寸
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40 用于 3英寸～8英寸
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40 用于 5英寸～8英寸
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40 用于 3英寸～12英寸
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76 用于 8英寸～12英寸
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76 用于 12英寸～18英寸
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EH = 边缘抓取（Edge Handling）
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ET = TAIKO工艺边缘抓取（Edge Handling TAIKO）
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接触材料：
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P = PEEK（聚醚醚酮，标准）
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V = Viton（氟橡胶）
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K = Kalrez（全氟醚橡胶）
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A = 铝（Aluminum）
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T = Teflon（特氟龙）
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E = ESD（防静电材料）
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C = 定制（Custom）
卡盘编码器：
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1 = 10000 CPR（每转脉冲数）
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2 = 24000 CPR*
灯塔Lighthouse
CCD 灵敏度：
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S = 标准（Standard）
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H = 高（High）
标准高度（mm）：
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23 用于 25～1218 型号
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29 用于 4EH～8EH 型号
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35 用于 8FS、12FS
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38 用于 68EH、8TFW
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38 用于 6ET、8ET、12ET
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38 用于 812EH
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xx = 定制
电缆入口方向：
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S = 侧面进线（Side Cable Entry）
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B = 底部进线（Bottom Cable Entry）
顶针Pins（注：不适用于嵌入式型号）
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V = 真空（Vacuum）
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R = 减少接触（Reduced Contact）
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C = 定制（Custom）
- E= 快速更换（Fast Swap）
顶针长度（英寸×10³）：
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标准尺寸：
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500 用于 26～1218 型号
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560 用于 4EH～8EH 型号
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900 用于 68EH、8TFW
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820 用于 812EH
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880 用于 6ET、8ET、12ET
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1060 用于 8FS、12FS
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xxx = 定制
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接触材料：
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P = PEEK（聚醚醚酮，标准）
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V = Viton（氟橡胶）
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K = Kalrez（全氟醚橡胶）
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S = 不锈钢
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T = Teflon（特氟龙）
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E = ESD（防静电材料）
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C = 定制（Custom）
注： * LPA1218 型号仅提供 24000 CPR 编码器。
到货视频：https://www.bilibili.com/video/BV1n5oKB4Ejg/?vd_source=303de1f35864e732d09266d8b4abe6e0
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