德国 Bernhard Halle Nachfl 光学反射镜抛光板 IPL5.25 IPL10.40 光学基底抛光片

德国 Bernhard Halle Nachfl 反射镜抛光板 IPL5.25 IPL10.40

具有平面或球面的反射镜和板是大多数光学装置的基本部分。镜子用来使光束偏转或聚焦。抛光板可以用作窗户、分束器或标准子。下面介绍了决定反射镜和反射板质量的一些重要参数。外形偏差形状偏差公差定义了实际表面相对于理想形状(平面或球体)的允许差值。在光学中，公差通常以波长λ为单位(例如λ/4)。要将此规格转换为长度单位，必须知道参考波长λref。除非另有说明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目录中的规格均参考波长为λrefnm。形状偏差规范的另一个参数是用来评估测量数据的方法。在这方面，极值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在计算PV值时，只考虑偏差最大的位置，而RMS值表征了整个表面的平均偏差。这两种值都有其使用动机。除非另有说明，否则在本目录中为PV偏差指定的值。虽然在PV和RMS偏差之间没有一般的关系，但对于实际发生的大多数表面，可以假设RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)对应λ/30-λ/50 (RMS)。本目录中指定的表格偏差至少适用于90%的区域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一个较小的部分，相应的形状偏差将大大降低。微粗糙度微粗糙度描述的是表面与横向尺寸的偏差已达到或更低的波长(i.e. typ. <1µm)。这些偏差主要是造成散射光的原因。微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq来表示。车间使用的抛光技术可以得到 Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm).