丹麦 SENS4 VDM-2 陶瓷膜片传感器,隔膜真空传感器
丹麦 SENS4 VDM-2 陶瓷膜片传感器,隔膜真空传感器
SENS4 VDM-2 陶瓷膜片真空传感器
1×10-1 至 1333 mbar / 1×10-1 至 1000 Torr / 10 至 1.333×105 Pa
特点和优点
- 测量范围为 4 个数量级，从 1.0E-1 到 1333 mbar
- 传统 1000 Torr 全尺寸 CDG 的具有成本效益的替代方案
- 在整个压力范围内不受气体影响的测量
- 耐腐蚀陶瓷或聚对二甲苯隔膜
- 0-10 VDC 可编程电压输出
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于外部控制的可选固态设定值继电器
- 可直接替代其他供应商的真空计
SENS4 VDM-2 陶瓷隔膜真空传感器基于耐腐蚀的氧化铝隔膜，该隔膜会随着施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件采用压阻测量。隔膜传感器测量真空气体压力，不受气体类型或成分的影响。
与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电陶瓷真空传感器相比，陶瓷压电传感器元件清洁干燥，消除了污染真空系统的风险。
电容式隔膜真空计的替代品
电容式隔膜真空计用于许多真空应用中，用于高级过程的测量和控制。VDM-2 传感器是传统 1000 Torr/mbar 满量程电容膜片真空计 （CDG） 的一种经济高效且紧凑的替代品。可在恶劣环境中使用
SENS4 VDM-2 可用于可能存在腐蚀性气体和化合物的苛刻真空应用。陶瓷氧化铝隔膜对许多溶剂和酸具有出色的耐腐蚀性。 SENS4 VDM-2 传感器还可选配聚对二甲苯保护屏障，以防止传感器材料腐蚀或氧化。聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性，专为医疗器械的冻干和过氧化氢等离子体灭菌等医疗应用而设计。 在存在宏观颗粒的真空系统和过程中，可选的保护挡板可作为防止污染物沉积在传感器隔膜上的有效屏障。 氧化铝传感器元件设计坚固，能够承受瞬时通风和高达 2 bar 绝对压力 （29 psia） 的过压。SENS4 可靠而稳健的压力控制
为了优化负载锁定性能，需要准确可靠地控制多个压力参数。SENS4 SmartPirani™ ATM传感器具有三个独立的固态开关继电器，可配置为控制排气、传输室闸阀和负载锁门。 与传统的机电继电器相比，固态继电器具有卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关触点时不会产生EMI（电磁干扰）。SENS4 SmartPirani™ ATM 控制继电器经久耐用，并通过了 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环负载锁定应用时具有最大的信心。询价采购丹麦 SENS4 VDM-2 陶瓷膜片传感器,隔膜真空传感器
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