代理Dover Motion,DOF-5,DOF-9,DOF物镜对焦平台,用于半导体与纳米技术成像,用于数字显微镜

DOF物镜对焦平台

产品概述

DOF物镜对焦平台是一款高性能、高性价比的纳米定位解决方案，专为自动化数字显微镜及生物医学成像应用而设计。该平台在提供大于5mm行程和超过225Hz带宽的同时，成本仅为传统压电平台的一半左右。

通过将伺服驱动器和运动控制器集成于平台内部，DOF省去了复杂的线缆连接，显著降低了系统总成本，同时保持了与竞争产品相当甚至更优的性能。

产品型号与规格

参数 DOF-5 DOF-9
行程 (mm) 5 9
负载质量 (g) 0 – 900 0 – 1,500
分辨率 (nm) 1.25 或 5 1.25 或 5
伺服带宽 (Hz) ≥ 225 ≥ 225
稳定性 (nm RMS) 5 5
步进与稳定 100 nm 移动，±15 nm 范围内稳定时间 < 15 ms 100 nm 移动，±15 nm 范围内稳定时间 < 15 ms
双向重复性 (nm) (500nm移动) ≤ 25 ≤ 25
归位重复性 (µm) ≤ 1 ≤ 1
整体尺寸（不含物镜接口）(mm) 77 x 82 x 30 95 x 82 x 30
最大加速度 (m/s²) (1kg负载) 6 6
最大速度 (mm/s) 125（5nm分辨率下） 125（5nm分辨率下）
通信接口 RS232, RS485（全/半双工）, CAN2.0B RS232, RS485（全/半双工）, CAN2.0B
输入方式 步进和方向 步进和方向

其他分辨率可选，适用于低数值孔径物镜，请联系应用工程师。

核心特点与优势

硬件灵活性

卓越性能

可靠耐用

全集成解决方案

精密线性电机

DOF采用高刚性交叉滚柱轴承和无刷线性伺服电机驱动，提供更高的伺服带宽和更优的响应速度，非常适合光学显微成像应用。该设计已获得美国专利保护（专利号：10,367,436）。

与压电柔性铰链平台的对比

对比项 压电柔性铰链平台 DOF物镜对焦平台
成本 含控制系统约$8,000–$12,000 含控制系统单价最高可节省50%
轴承 柔性铰链产生离轴运动和位置依赖的寄生力 交叉滚柱轴承提供更高刚性，实现更快运动和更长寿命
驱动方式 堆叠或振荡驱动具有非线性响应，带宽随负载增加而降低 无刷线性伺服驱动提供更高带宽和线性响应
行程 < 300 µm，需要精密对准和额外的粗调轴 > 5 mm，对准更简便，避免物镜碰撞
噪音 振荡压电产生尖锐噪音 静音伺服驱动，适合实验室环境
控制 离轴、复杂控制，通常为专有协议 板载控制，复杂度低、线缆少，总拥有成本更低

性能表现

快速、精确、可重复的100nm步进

在10kHz采样率下使用激光干涉仪测试（300g物镜负载），DOF-5可连续执行十次100nm上行步进和十次100nm下行步进，表现出优异的步进精度和重复性。

高通量步进与低抖动

单次100nm步进中，初始位置稳定性优于±3nm，物镜在3ms内完成100nm步进并稳定在±7nm窗口内。

纳米级双向重复性

在100nm步进序列中，从相反方向逼近同一位置时，两个位置在250ms保持期间的均值差异小于2nm。

典型应用

DOF物镜对焦平台专为满足自动化数字显微镜日益增长的吞吐量、分辨率和稳定性要求而开发，已广泛应用于以下领域：

协调运动

用户自定义轨迹模式（UDP）支持平台利用辅助输入实现协调运动。平台可由另一轴或外部源驱动，根据输入信号跟随定义的运动曲线。DOF可配置为垂直（Z轴）和水平（X轴）应用。

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