英国VacTechniche,RF 电源,射频等离子发生器 ,射频等离子体备件

用于射频等离子体控制的 5000w （25KV） 自动匹配网络将等离子室的射频产生阻抗更改为 50 欧姆，以达到从发生器到腔室的最大功率。Vac Techniche 自动匹配网络以三种独立模式运行。

自动模式持续补偿等离子外壳的阻抗变化。

手动模式允许操作员在此过程中更改匹配的电容值。

在预设模式下，操作员可以在开始时自动调整电容值，使其接近完全匹配条件，以便更快地进行匹配。 各种参数可以调整，并通过控制器系统的前面板和 VGA 连接观察其性能。

该设备的一些特殊应用是各种用途的等离子体生产，例如沉积的不同阶段（清洁、蚀刻、溅射等）以及纳米技术领域中微电子元件的制造。