美国 Nonsequitur Technologies,离子枪,能源 10kV - 160kV,1450 型,5keV 至 50keV,高能离子枪
美国 Nonsequitur Technologies,离子枪,能源 10kV - 160kV,1450 型,5keV 至 50keV,高能离子枪
离子枪
NTI 离子枪用于材料研究、表面分析和太阳风模拟等应用。它们是按订单制造的，我们很乐意根据您的需求定制系统。
离子枪 1450 型
高能离子枪
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光斑尺寸可调 ≥ 5um，用于空间定义的溅射或注入
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发射调节轰击提供稳定的离子电流
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连续可变光束能量 5kV 至 50kV
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用于光束扫描和像散校正的双八极杆
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用于减小光斑尺寸的物镜前扫描
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无需将细丝直接连接到样品视线，以避免样品污染
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客户可更换的细丝和光束修整孔径
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双线材可在线材使用寿命结束时提供运行备份
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制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料
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差速泵送，以最大限度地减少主室气体负荷
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在惰性气体和氮气范围内运行
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模式
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光斑尺寸 （μm FWHM）
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束流
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电流密度 （A/cm²）
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|---|---|---|---|
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大点
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25
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20μA
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4
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中等光斑
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8
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5μA
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10
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小点
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5
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500 毫安
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2.5
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元件
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描述
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|---|---|
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输入功率
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115/230VAC 50/60Hz 自动选择
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光束能量
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0-50,000V，1mA
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对焦、聚光镜
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0-40,000V，1mA
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灯丝功率
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辐射调节，5V，最大 5A
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电离
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电子加速电压和发射软件可选
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离子萃取
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0-2500V 软件可选
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挠度
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+X、-Y、+Y 和 -Y 的 +/-400VDV 电源。其余八极元件由电阻分压器网络供电。可选的 8 通道偏转电源，具有像散校正和二次电子成像功能
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联 锁
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系统和辅助联锁装置
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用户界面
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基于 USB 的图形用户界面
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机箱尺寸
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483（宽） x 267（高） x 435（深） 毫米。19 英寸机架安装机箱 6U 高
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