瑞典PiezoMotor纳米压电电机,15N 线性压电执行器,LS15精密直线驱动器,晶圆检测平台驱动

瑞典PiezoMotor纳米压电电机,15N 线性压电执行器,LS15精密直线驱动器,晶圆检测平台驱动

用于平台装置的 15N 线性压电执行器

具备真空环境适用性且不具磁性 用于直线运动平台的电机 直驱式设计——无反向间隙 纳米级分辨率 体积小巧，但力量输出与体积之比极佳。 处于保持位置时不会消耗电能 快速响应与高速度处理能力 真空或非磁性真空状态

Piezo LEGS® LS15 压电执行器

• 压电电机
• 纳米定位执行器
• 精密直线驱动器

安装在直线平台上的驱动模块 Piezo LEGS LS15 线性电机适用于各种 OEM 应用场景。其设计重点在于便于与各种舞台装置相集成。凭借极高的运动速度和纳米级的精度，该电机非常适合各种应用需求。 LEGS 技术的突出特点在于其极高的精度。此外，该技术还具有体积小、响应速度快以及使用寿命长等优点。再加上纳米级的分辨率，使得这项技术显得尤为独特。 该电机非常适合用于需要移动或保持位置的场合，也适用于线性运动装置的自动调节。当电机处于保持位置时，不会消耗任何电能。该电机的驱动方式是直接的，因此不需要齿轮或丝杠等部件。 要实现直线运动，这些条件是必需的。这意味着该电机不存在任何机械间隙或反冲现象。Piezo LEGS LS15 直线电机具备与真空环境相容的特性。

Piezo LEGS® LS15 的规格参数

瑞典PiezoMotor纳米压电电机,15N 线性压电执行器,LS15精密直线驱动器,晶圆检测平台驱动

参数	真空型 (B)	非磁性型 (D)	单位
类型	真空型	非磁性型	-
最大行程（取决于安装方式）	130	130	mm
最大速度（取决于驱动器）	12	12	mm/s
最低速度（取决于驱动器）	1	1	nm/s
最小增量运动量（Minimal Incremental Motion）	<1	<1	nm
最大工作频率	1.5	1.5	kHz
堵转推力（Stall Force）	15	15	N
保持力（Holding Force）	>15	>15	N
真空兼容	是（最高 10⁻⁷ Torr）	是（最高 10⁻⁷ Torr）	Torr
非磁性	否	是	-
工作电压	42–48	42–48	V
功耗	7	7	mW/Hz
机械尺寸（长 × 高 × 深）	42 × 23.3 × 15	42 × 23.3 × 15	mm
重量	70	70	g
电机外壳材料	不锈钢	非磁性材料	-
工作温度	-20 ～ +70	-20 ～ +70	°C
存储温度	-50 ～ +85	-50 ～ +85	°C

电机控制器

典型应用

适合：

• 纳米定位平台
• 光学调整平台
• 晶圆检测平台
• 半导体设备定位轴
• 显微镜载物台
• 光纤对准系统
• 真空腔体内精密运动机构

询价采购瑞典PiezoMotor纳米压电电机,15N 线性压电执行器,LS15精密直线驱动器,晶圆检测平台驱动

请用微信扫描下方二维码或手动添加微信号2351992198