蒸发源 系列：RCL

Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚线性电子枪提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，具有完整的坩埚覆盖，并可通过自动分度器进行自动定位，单独出售。

蒸发源 系列：RCL

3 kW 多坩埚线性喷枪™

Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚线性电子枪提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，具有完整的坩埚覆盖，并可通过自动分度器进行自动定位，单独出售。

特征

• 真正的 XY 清扫，坩埚完全覆盖
• 源附带的扫频线圈
• 增强的光束准直
• 插件发射器模块
• 增强的高稳定性冷却
• 交叉污染屏蔽
• 坚固的设计
• 可选的自动索引器

规格

工作压力	低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择
光束电压	4,000 伏直流电
束流	0–750 mA 连续可变
最大功率	3 千瓦
冷却水	1.5 加仑/分钟
压差	最小 25 psi
最大烘烤 温度	230°C （446°F）
坩埚体积	2.24 cc x 3、4 或 5 个坩埚

订购信息

描述	型号
多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 3 位	RCL0303
多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 4 位	RCL0304
多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 5 位	RCL0305