KEY HIGH VACUUM PRODUCTS, INC. PIEZOELECTRIC VALVE

KEY HIGH VACUUM PRODUCTS, INC. PIEZOELECTRIC VALVE 压电阀 PEV-1

1/4" SS SWAGELOK FITTINGS Flow range: 0-500 SCCM Closed leak rate: <1x10-9 scc/sec (1ATM HE ON INLET) Response time: 2 Millisec Maximum inlet pressure: 50 PSI Drive requirement: Voltage: 0-100 VDC, Current: <10μA Inlet and outlet connections: 7/16-20 O ring ports per SAE J514 (STD fittings available) Electrical connector: Standard BNC
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