美国Thermionics Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪， 蒸发源

美国Thermionics Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪， 蒸发源

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪 Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪主要型号：

Model Number	Power	Crucible No.	Crucible Volume
R0607-4	6 kW	4	7cc
R0610-4	6 kW	4	10cc
R0615-4	6 kW	4	15cc
R1010-4	10 kW	4	10cc
R1015-4	10 kW	4	15cc
R1025-4	10 kW	4	25cc

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪主要特征： 模块化磁铁 独特的模块化磁铁概念融入了旋转口袋Hanks HM2 e-Gun™设计中。这一概念使非常紧凑的装置成为可能（见外形图）。Hanks HM2的所有独特功能都包含在这款车型中。 Hyper-Unimelt扫描（低速率或高速率的最佳控制） 高频扫描（0-200Hz）为用户提供了e-Gun™操作的完全灵活性。通过旋转X-Y扫描控制器上的旋钮，可以改变光束的大小以适应蒸发的材料。这对光学涂层和其他材料非常有益，在这些材料中，光束尺寸在1-2Å到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。 Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪技术参数：

功率输出	6 kW	10 kW
	7.5 kV	10 kV
	0 to 800 mA	0 to 1.0 A
坩埚体积	7/10/15 cc	7/10/15/25 cc
灯丝	12 VAC 60A
电子束	270˚ deflection
蒸发率	1 gm/min at 10 kW  3.6 microns at 25 cm
光束光斑尺寸	0.25英寸圆形（近似）（光束可以通过光束扫描控制器进行电动调节和定位）
坩埚	OFE copper
烘烤温度	120˚C (250˚F)
水	3.0 gpm (filtered) at 70 psi
最小水管尺寸	3/8” dia (6/10 kW)
压差	50 psi minimum
X and Y 扫描	Hyper-Unimelt扫频（0至200 Hz以上）

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