美国Advanced Photonics准分子激光气体净化器Excimer Laser Gas Purifiers-MODEL C-2000

Excimer Laser Gas Purifiers

MODEL C-2000

准分子激光气体净化器

API气体净化器用于准分子激光器，可提高激光性能并延长激光器的使用间隔。通过选择性地去除激光作用产生的腐蚀性杂质，保持气体混合物的纯度。

针对ArF和氟激光应用

对于使用ArF和F2的激光器应用，LN2冷却的C-2000经济实惠、易于使用且高度可靠。C-2000也易于安装、操作和维护。可以额外添加自动LN2补充选项。C-2000也可以作为API C-6000净化器的升级版本用于多气体操作。
粒子过滤 < 0.1 microns; > 99.95% retention
工作温度 77° K.
气体循环流速 30标准升/分钟
气体压力范围 1至5巴（绝对压力）
净液氮容量 14升
规模 22英寸高x 19英寸宽x 22英寸深

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