LOGOSOL寻边机,晶圆预对齐器,LPA812EH-3边缘抓取预对准器

LOGOSOL寻边机,晶圆预对齐器,LPA812EH-3边缘抓取预对准器 创新的自主设备具有零夹持力的被动边缘接触,是 Logosol 的边缘抓取预对准器技术的替代方案,可确保无晶圆应力和最大清洁度,以处理 75 毫米 – 300 毫米的物体。标准和高精度型号。 适用于两种晶圆尺寸的边缘处理预对齐器,边缘接触区域小于1毫米,并有3种不同的引脚配置。 C(交叉)型配置:能为晶圆提供最均匀的支撑,并且从三个方向都能实现完全的接触。 X型配置:可为超过6英寸宽的末端执行器提供空间,并且从两侧均可方便地接近。 Y型配置:与晶圆的物理接触面积最小(仅在转盘和引脚上设有3个接触点),且从两个方向都能实现完全接触。 接口入口:侧面(可选底部)

LOGOSOL LPA812EH-3 边缘处理预对准器零夹持力

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