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PiezoMotor LT2020压电线性执行器 LT2020D-050D1B10

Piezo LEGS® LT20 linear piezo actuator

20 N 推力、非磁性、兼容真空环境的高精度直线执行器。

Piezo LEGS® LT20 线性压电执行器专为 OEM(原始设备制造商)集成应用设计,适用于需要高精度定位的场合,可在磁场环境、真空环境以及常温常压(NTP,Normal Temperature and Pressure)环境下稳定工作。

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20压电电机产品特点:

一款兼具卓越尺寸/推力比和纳米级定位精度的线性执行器。

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器产品介绍

Piezo LEGS® LT20 线性执行器面向广泛的 OEM(原始设备制造商)集成应用而设计,在产品开发过程中充分考虑了易于集成的需求。凭借优异的高速动态响应纳米级定位分辨率,LT20 能够满足各种高精度运动控制应用的需求。 LT20 特别适用于定位保持(Move-and-Hold)和自动调节等应用。在保持位置时,执行器无需持续供电即可维持位置,从而有效降低系统功耗。该产品采用直接驱动(Direct Drive)技术,无需齿轮、丝杠等机械传动机构即可实现直线运动,因此不存在机械间隙(Mechanical Play)和回程间隙(Backlash),能够提供高精度、高重复性的定位性能。

Piezo LEGS® LT20 提供多种版本,包括:

以满足不同应用环境的需求。

典型应用领域

半导体制造 LT20 非常适用于半导体制造设备中的高精度运动控制,包括: 医疗技术(MedTech) Piezo LEGS® LT20 广泛应用于医疗器械和生命科学设备,包括:

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器规格参数

参数 标准型(A) 非磁型(C) 非磁真空型(D) 单位
最大行程(Maximum Stroke)
74.5
74.5
74.5
mm
最大速度(取决于驱动器)
24
24
24
mm/s
最低速度(取决于驱动器)
1
1
1
nm/s
堵转推力(Stall Force)
20
20
20
N
保持力(Holding Force)
>20
>20
>20
N
真空兼容
是(10-7 Torr)
非磁性
工作电压
42–48
42–48
42–48
V
功耗
10
10
10
mW/Hz
外形尺寸(长 × 高 × 深,含导轨和编码器)
N/A
N/A
N/A
mm
外形尺寸(长 × 高 × 深,不含导轨和编码器)
22 × 21.8 × 10.8
22 × 21.8 × 10.8
22 × 21.8 × 10.8
mm
重量(配 50 mm 驱动杆)
29
29
29
g
电机外壳材料
不锈钢
Arcap 非磁合金
Arcap 非磁合金
推荐工作温度
−20 ~ +70
−20 ~ +70
−20 ~ +70
°C
电机接口
2 × JST BM05B-SRSS-TB
焊接电缆
焊接电缆 2 × JST O5SR-3S
编码器接口
N/A
N/A
N/A
电机分辨率
<1
<1
<1
nm
内置编码器
编码器分辨率
N/A
N/A
N/A

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 电机性能

采用 Rhomb(菱形波,实线)和 Delta(三角波,虚线)驱动波形时的电机性能。整步步长(Full Step Length)是指驱动杆在压电驱动腿完成一个完整步进动作(即一个完整驱动波形周期)时所产生的平均位移距离。 注:应考虑 σ = 0.5 μm 的标准偏差。 典型性能参数均基于环境温度 20 ℃ 测得。

行程范围

驱动杆长度(Drive Rod Length) 单个转接件时的行程(Stroke with One Adapter) 单位
30
0–6.6
mm
40
0–16.6
mm
50
0–26.6
mm
60
0–36.6
mm
70
0–46.6
mm
101
0–77.4
mm

20 ℃ 条件下电机速度参数

波形类型(Waveform) 最大频率(Max. Frequency)(Hz) 速度范围(Speed Range)(mm/s)
Delta(三角波)
3000
0–15
Rhomb(菱形波)
3000
0–24

电机控制驱动 PMD401 和 PMD301

PiezoMotor提供多种版本的电机控制单元,包括适用于实验室应用的控制器和驱动器,以及适用于 OEM 设备集成的控制器和驱动器,可满足不同应用场景的需求。 对于希望自行开发驱动电子系统的客户,PiezoMotor还可提供驱动技术授权(Driver License),支持客户自主设计和制造电机驱动电路。

   

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