美国Dover motion升降平台,Dover ZE™ 平台,晶圆检测平台,8 英寸方形高精度滑台
美国Dover motion升降平台,Dover ZE™ 平台,晶圆检测平台,8 英寸方形高精度滑台
晶圆检测、扫描与探针应用
Dover Motion 的 高精度垂直平台 – ZE™ 提供了一种 紧凑且高精度的垂直运动解决方案。该垂直升降平台专为满足晶圆检测、扫描和探针应用的高要求而设计，能够实现 极其直线、平滑且可重复的运动。
平台提供多种行程选择，范围从 0.5 英寸到 1.5 英寸，同时保持 低矮的整体设计。
高精度垂直平台 – ZE™ 技术参数
| 基本型号 | ZE-05 | ZE-10 | ZE-15 |
|---|---|---|---|
| 行程 (mm) | 12.5 | 25 | 38 |
| 行程 (in) | 0.5 | 1 | 1.5 |
| 定位精度 (±μm)*¹ | 38 | 76 | 114 |
| 双向重复精度 (± μm) | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| 负载能力 (kg)*² | 12.5 | 12.5 | 12.5 |
| 平整度 & 直线度 (μm TIR) | 5 | 10 | 15 |
| 总质量 (kg) | 7.4 | 9.1 | 13.1 |
*1 使用步进电机；开环控制。采用编码器反馈或补偿后可提高精度。
Dover ZE™ 高精度垂直平台描述
在 Dover ZE™ 平台中，四个角落配备的 高精度非循环导轨 可在全行程内将俯仰和偏航控制在 15 弧秒以下。提供 0.5 英寸和 1 英寸行程 的版本，并采用 低矮设计，最大限度减小平台尺寸。8 英寸方形安装板可将负载置于升力方向上，无需悬臂支撑负载。
平台采用 NEMA 23 规格电机（步进或伺服）连接 丝杠，通过 凸轮随动器沿楔形导轨 运动，实现高分辨率定位。同时，防回程摩擦螺母 确保优异的重复精度。每个平台配备高精度霍尔效应限位开关，并通过方便的锁定式 D-sub 微型连接器输出。丝杠导程、楔形机构比例、电机及控制器共同决定 ZE™ 平台的定位分辨率。
Dover motion高精度垂直平台ZE™晶圆检测、扫描和探针应用设计特点
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低矮设计，无悬臂负载
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优异的直线度与重复精度
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防回程摩擦螺母
可选项
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电机选项：步进或伺服
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反馈选项：旋转编码器
可下载数据手册获取更多 电机化Z 轴平台 的技术细节，并可查看 Dover Motion 所有 Z 轴平台产品。
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