Idonus Sarl Wafer Chuck for Electrodeposition [P1001-052] WEDC50 夹具

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
size: 100mm
Wafer size: diameter 50mm, primary flat
Wafer thickness: to be defined +/- 20um
Edge exclusion: 5 mm (open area diameter 30.0mm)
Contact position diameter: 47.0 mm
Backside protected
Electrode contacts on front-side

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Idonus Sarl

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