Sinton Instruments BLS-L/BCT-400优越的硅锭测试仪器
Sinton Instruments BLS-L/BCT-400优越的硅锭测试仪器 简单、精确、无接触式地测量初长成态或已加工成型硅棒或硅锭的真实体寿命。遵从SEM标准Pv13。
BLS-|和BcCτ-400测量系统可以直接测量单晶或多晶硅锭或硅砖的寿命,而无需进行表面钝化。由于寿命测试是表征晶体生长和杂质缺陷最灵敏的技使用该系列产品,您可以在晶体长成后立刻对晶硅质量进行评估。 BLS-设备应用灵活,能够测量各种各样的表面(150mm直径的曲面BCT-400设备更加专为测量平面400还可以集动化工作站中,同时对测试软件进行相应设置就能实现无缝自动化测量 主要应用- 对寿命在1-10毫秒范围内的高纯度硅进行测定
- 对未经特殊表面处理的长成态B-CZ单晶硅棒进行质量检验
- 对多晶硅锭的寿命和陷阱浓度进行表征
- 检测BO缺陷、Fe污染和表面损份
- 监测Cz直拉硅、Fz区熔硅、多晶硅或UMG升级冶金硅的初始材料质量、
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