Kimball Physics, Inc. COMPLETE EGH-8103/EGPS-8103 System 电子束发生系统

Beam Energy 10keV to 100 keV:
Beam Current 10nA to 100 μA
Spot Size 0.5mm to 10mm
Magnetic Deflection: ±1.5 degrees at 100keV; scales higher at lower energies
Tantalum disc cathode installed [up to 1 x 10-5 torr]

 


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