EOPC SC-3微型谐振扫描仪，EOPC谐振扫描仪，EOPC共振扫描仪，Electro-Optical Products Corp

EOPC SC-3微型谐振扫描仪

SC-3 Micro Resonant Scanner

EOPC SC-3 微型谐振扫描器特点与优势

在 100 Hz 至 1,000 Hz 范围内提供单一固定频率
扫描角高达 50° 峰峰值（光学）
镜面尺寸最大 12×7 mm
可垂直或水平安装
小尺寸，重量轻
低功耗驱动电子装置
坚固耐用，无磨损部件
免维护
高可靠性
可承受冲击和振动
高频率稳定性（可达 0.05%）
高温/低温工作¹
真空工作（至 10⁻¹⁰ Torr）¹
无抖动运行
无辐射电磁干扰（EMI）
可提供镜面位置输出
标配为带增强铝涂层的玻璃镜，红外和紫外涂层可选¹

¹ 可按特殊订单提供

EOPC SC-3 微型谐振扫描仪货号

SC-3 常规扫描器。尺寸（英寸）：0.9 x 0.5 x 0.4

SC-3-SH 短型扫描器。尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4

SC-3-A 更高频率扫描器。尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4

SC-3-HF 高频、小镜面和小扫描角扫描器。尺寸（英寸）：0.55 x 0.5 x 0.4

SC-3型超小型固定频率谐振光学扫描器基本介绍

SC-3型超小型固定频率谐振光学扫描器是现有的非MEMS、极小尺寸机械扫描器。它是一种电磁驱动的动镜装置，以连续正弦运动使光束偏转。镜组件安装在绷紧的带状弹簧的中心。SC-3型扫描器或更小尺寸版本SC-3-SH的扫描频率范围为100Hz至1860Hz，并固定在该范围内的任意一个值。扫描角与频率成反比，并且是镜面尺寸的函数。标准工作温度为0°C至+55°C。其他温度范围和真空操作可应要求提供。

高器件“Q”值确保频率稳定性和低电驱动功率。高弯曲刚度提供良好的抗冲击和抗振动能力，同时实现低摆动和良好的扫描重复性。在固有频率下谐振使该器件成为长寿命运行的理想选择，适用于众多需要良好成像且失真最小的应用。该扫描器特别适用于专用、大批量OEM工业应用。SC-3型扫描器可轻松集成到小型和便携式仪器中。

扫描器在谐振频率下的工作由正反馈放大器型ED驱动器或AGC驱动器维持。AGC驱动器提供更高的幅度稳定性（0.01%）和位置输出信号。

应用包括：可用作腔内Q开关、共聚焦显微镜、癌症诊断、眼科成像、自适应光学、X射线技术、DNA测序、脑成像、认知识别检测、牙科、皮肤科、发育生物学、NDE/NDT、肿瘤学，以及光学相干显微镜（OCM）的高分辨率成像、激光扫描器、图像与图案形成和识别、高分辨率打印、荧光显微镜、共聚焦显微镜、半导体成像、卷材检测、生物医学成像、质量检测、过程验证、掩模检测、机器视觉，以及外层空间和环境应用等，仅举几例。

在100Hz至1000Hz范围内提供单一固定频率。以下内容仅作为指南。

描述角度 (P-P deg opt)	镜面尺寸 (mm)	FREQ. (Hz +/-10%)
SC-3-2	50°	6 dia	250
SC-3-2	50°	7x7	180
SC-3-2	50°	12x7	110
SC-3-3	40°	6 dia	400
SC-3-3	40°	7x7	285
SC-3-3	40°	12x7	180
SC-3-4	30°	6 dia	600
SC-3-4	30°	7x7	430
SC-3-4	30°	12x7	265
SC-3-5	20°	6 dia	830
SC-3-5	20°	7x7	600
SC-3-5	20°	12x7	385