Thermionics Northwest, Inc. FB Series Ultra High Vacuum Precision Manipulator FB-B600TM-T600C-4.0-25-25- 26/MS-LS-XYZ/EDR-400- XY/EDR-400-Z FB系列超高真空精密样品台（带电动马达）

6" O.D. CF base flange, tapped metric
6" O.D. CF travel flange, clearance
4.0" I.D. SS edge welded bellows
±12.5 mm X-Y travel
26" Z travel
/MS-LS-XYZ: Stepper Motor Drive with
limit switch sets for the X,Y and Z axes
(Requires 5 Amp motor driver/controller sold
separately)
/EDR-400-X-Y: Rotary Encoder for X-Y
axes, 400 counts per revolution
/EDR-400-Z: Rotary Encoder, 400 counts per
revolution

 


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