Logosol/Isel,LPA58-1E系列,嵌入式晶圆预对准器,晶圆校准器,晶圆寻边台,晶圆定位

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Logosol/Isel,LPA58-1E系列,嵌入式晶圆预对准器,晶圆校准器,晶圆寻边台,晶圆定位 嵌入式晶圆预对准器

LPA58-1E特征

-创新的一体化高性能设计，无需外部控制器和互连电缆，同时保持原位替换兼容性。 -采用超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、快速的响应。 -先进的扫描电子器件，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。 -运动控制软件包含一套全面的常用指令，便于与各种半导体平台兼容和对接。 -典型对准循环时间小于 4 秒，有助于实现最大的系统吞吐量。

LPA58-1E 技术规格

晶圆直径：125mm, 150mm, 200mm 晶圆透明度：透明、半透明、不透明 方形基板：适用 晶圆处理方式：真空吸盘 对中精度：在预对准器吸盘上 ±50um 角度精度 (3 Sigma) 10000 CPR 编码器：在预对准器吸盘上 ±0.06° 24000 CPR 编码器：在预对准器吸盘上 ±0.04° 伺服轴数：1 轴 主机通信：RS232、以太网 最大初始晶圆偏移量：10mm 外形尺寸（宽 × 长 × 高）：95mm x 266mm x 191mm 安装尺寸兼容性：LPA25-1E, LPA38-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E 重量：3.50kg 所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, 或者24VDC/2A 真空 12 英寸汞柱 平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准 洁净度：Class 1 MTBF（平均故障间隔时间）：超过 70,000 小时

LPA58-1E一般尺寸

产品资料：https://logosolinc.com/wp-content/uploads/2020/08/LPA58-1E_Brochure.pdf https://www.bihec.com/logosol/Logosol/Isel,LPA58-1E系列,嵌入式晶圆预对准器,晶圆校准器,晶圆寻边台,晶圆定位/ ‎

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