美国Get Control 三轴加速度计测试工具,振动工具
三轴加速度计测试工具（振动测试工具）
AMHS以及输送带制造商在系统开发、安装和维护过程中，会使用三轴加速度计测试工具来评估系统的振动特性。这一行业标准工具被200毫米和300毫米级芯片制造厂所采用，用于检测物料处理系统对晶圆造成的振动影响。通过及时发现轨道偏移的迹象，可以采取措施减少对晶圆的振动损害。三轴加速度计测试工具既可以作为独立设备使用，也可以与GCI信息中心配合使用，从而实现自动记录功能，并能获取由AMHS车辆提供的位置数据。
GCI的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商及最终用户提供了精准的振动检测解决方案。该工具能够在自动或手动运输过程中，同时采集并记录X、Y、Z轴方向的振动数据。
三轴加速度计测试工具采用电池供电，结构紧凑且功能完备。该工具配有适配板，可用于将其固定安装在300毫米的FOUP中。对于200毫米尺寸的晶圆，还可以购买相应的安装板，以便将工具固定在200毫米的晶圆载体上。LCD显示屏和键盘则用于设置各种参数。
机载数据压缩
三轴加速度计测试工具能够对每个轴上的512个数据点进行实时处理。该工具提供了多种数据处理方式，包括均方根值、峰值、峰值频率以及真实均方根值。数据处理是以半秒为间隔进行的（通过FFT技术），每种处理方式下，每个轴每秒可生成两个处理后的数据点。记录容量则取决于所采用的处理方式，最高为两到六小时。 处理后的数据会被存储在内置的SD卡中。可以在将其上传到电脑进行分析之前，先存储多段录制内容。此外，还配备了RS-232接口，可通过InfoCenter桌面应用程序来上传数据（需联系GCI）。时域记录选项
三轴加速度计测试工具还可以选择配备时域记录功能，该功能可将时域数据存储到安全数字存储卡中。使用此功能后，三轴加速度计测试工具能够以每秒每个轴512个数据点的速度将数据直接存储到SD卡上。存储容量受SD卡可用空间的限制，最大存储时间为6小时。在PC上，可通过GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop应用程序来实现数据简化处理。VibPlot分析应用
VibPlot提供了用于对记录下来的时域数据进行分析的工具。VibPlot具备与三轴加速度计测试工具相同的 数据处理功能，同时还提供了更多分析功能，比如三维瀑布图和彩色频谱图。该工具可以显示时域数据，以及经过处理的数值的图表（如均方根值、峰值、真实均方根值），还有每1/2秒间隔内的FFT分析结果。
信息中心桌面应用
InfoCenter桌面应用程序提供了与VibPlot相同的工具，不过它是一个经过升级的应用程序，还能够上传并显示处理后的数据集。特点
轴线
- X、Y和Z
测量值
- 频率：直流至150赫兹
- 振动幅度为0.03克至2.00克（±0.01克）
电池/充电器
- 可充电镍氢电池组
- 高级电池充电电路
- 低电量检测及警告指示灯。
数据分析类型
- RMS
- 峰值
- 均方根值与峰值
- 均方根值、峰值与频率
- 有效值、峰值、频率、真有效值以及N值
用户界面
- 2 × 16字符LCD
- 4键键盘
闪存PROM
- 存储系统固件
- 可通过GCI提供的固件文件轻松升级。
内置microSD卡
- 存储录音会话
- 存储容量足以容纳数百个带有时间戳的独立录制片段（具体数量取决于录制时长）。
RS-232接口
- 提供一个RS-232端口，用于将记录的数据下载到主机电脑上。
规格
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同时三轴记录：X、Y 和 Z 轴
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幅度响应：0.03 至 2.00 g
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幅度分辨率：0.01g
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幅度精度：± 0.02g
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频率响应：2 至 150 Hz
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频率分辨率：2 Hz
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频率精度：± 2 Hz
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可充电镍氢电池（长达 30 小时操作）
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内部 1 GB 闪存
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实时时钟/日历
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板载数据分析类型：
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RMS
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Peak（峰值）
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Frequency at Peak（峰值频率）
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true RMS（真 RMS）和 N
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RS-232 接口
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电池充电器
尺寸 (INT02001)
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高度：12.5 cm (5.00 inch)
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宽度：13.7 cm (5.38 inch)
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深度：12.3 cm (4.86 inch)
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重量：1.8 kg (4 lb.)
尺寸 (INT02001-R)
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高度：29.3 mm (1.15 inch)
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宽度：130 mm (5.12 inch)
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带安装支架为 150 mm
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深度：130 mm (5.12 inch)
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带安装支架为 150 mm
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重量：590 g (1.3 lb.)
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