Idonus Sarl UV LED exposure system UV-EXP150R

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps

Mechanical clamping ring for 100mm wafer

size: 100mm

UV LED exposure system Performances:

- Wavelength: 365 nm (others on request)

- Exposure area: Dia 150 mm

- Collimation angle: < +/- 1.9°

- Inhomogeneity: < +/- 3% (homogeneity: > 94%)

- Irradiance (optical power density): typically 55 mW/cm2 (adjustable 10% to 100%)

- Working distance: 350mm

- Size: ~25x25x58 cm

Idonus Sarl UV LED exposure system UV-EXP150R

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