Thermionics HCL e-Gun™ Motorized Z Series Crucible Pocket Indexing Evaporation Source HCL系列多坩埚蒸发源

Features

特征简单的控制特性可靠性高且稳定速度控制范围（电动版）电机寿命长计算机PC控制较小的致动器轮廓允许额外的源法兰公用设施坩埚视觉位置刻度 Specifications

Operating Pressure	Below 5×10-5 Torr is desirable for best operation
Power Rating	6.10 or 15 kW
Filament	12 VAC 60A
Maximum Power	15 kW
Cooling Water	2gpm
Pressure Differential	25 psi minimum
Max. Bakeout Temp.	200° C
Crucible Volume	7, 10, 15, 25, 40 or 75 cc

Motor Stepper

Description	Model No.
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-0607-X-ZST-MS
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1010-X-ZST-MS
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1015-X-ZST-MS
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1025-X-ZST-MS
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1040-X-ZST-MS
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1575-X-ZST-MS

Manual

Description	Model No.
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-0607-X-ZST-M
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1010-X-ZST-M
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1015-X-ZST-M
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1025-X-ZST-M
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1040-X-ZST-M
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets	HCL-1575-X-ZST-M

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