美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGH-6002 / EGPS-6002

美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGH-6002 / EGPS-6002 Kimball Physics 是电子枪（束）系统的领先供应商，其设计适用于各种超高真空（UHV）表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束，用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。

操作范围

能量范围：1 eV 至 100 keV
光束电流范围：1 nA 至 20 mA
光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差

方便

客户可更换的点火装置
全运行期间的机械对中
可存储控件设置
电脑遥控器/计量

运营能力

快速脉冲/光束消隐
偏转 / 光栅
枪式法拉第杯

型号 #： EGH-6002 EGPS-6002

描述

可聚焦小光斑尺寸、高能电子束 1 keV 至 50 keV 应用：

一般真空物理学
辐射研究
地表轰炸
半导体研究
生物标本照射
X 射线生成
血浆激发
荧光研究
表面物理研究

功能/选项：

中等束流
光斑尺寸小
静磁聚焦
静磁偏转
磁性透镜
脉冲能力
运行时的内部对准
用户可更换的点火装置
5 英寸或 6.0 英寸 CF 安装
UHV 技术 / 可烘烤
电脑 / 遥控器

能量范围：1 keV 至 50 keV 束流：10 nA 至 100 μA 光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm 安装：4.5“ CF 或 6.0”CF Kimball Physics EGH-6002 电子枪及其匹配的 EGPS-6002 电源是一个完整的子系统，可连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内传递电子。EGH-6002 可用于从半导体研究到二次电子发射研究的许多不同的应用。该枪可以产生高能、可聚焦的小光斑电子束。束流能量和束流都可以在很宽的范围内独立调节;1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的电流是标准配置。电子束可以通过控制网格的输入信号进行脉冲传输。喷枪的可调节光学元件可以适应不同的发散和不同的工作距离。光斑尺寸可以从 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透镜和磁定心偏转提供低像差的光束控制。此外，阴极到阳极的间距可在内部调节以改变磁长。该喷枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火装置相对于阳极和色谱柱进行机械对准。当喷枪在全电压下运行并打开光束时，可以实时完成这种对准。点火装置弹药筒（包括阴极、阴极支架和 Wehnelt 孔径）可由用户更换，甚至无需从真空室中取出喷枪。用过的点火装置可以退回工厂进行重建。