硅片是集成电路（IC）和微电子机械系统（MEMS）制造中必不可少的组成部分。在红外（IR）范围内能够透视这种半导体材料对于制造过程的质量控制非常有利。 idonus红外硅片检测显微镜（IR-M）配备了长工作距离物镜。3级变焦允许用户选择合适的视场和放大倍率。红外敏感摄像头通过USB 3.0通信将检测样品的图像显示在计算机上。分辨率优于3 μm，并配备5×物镜。 此外，还提供顶部照明功能。这使显微镜可以在传统模式下使用，并检查硅片的顶部表面。红外显微镜配备了XY台，可容纳直径200毫米（8英寸）或更小的硅片。可选地，XY台可以由电机驱动，通过图形用户界面（GUI）和/或操纵杆方便地控制。