德国CRYSTAL GmbH 衬底 晶片 衬底的应用

CRYSTAL GmbH 衬底 晶片

标准尺寸或定制 精确的表面和精确的方向 晶体的各向异性使其在研究和开发中有着广泛的应用。CRYSTAL为薄膜应用提供基材，作为目标或为个人应用量身定制，价格公道，质量最高。

衬底/晶片属性

方向:

• (100), (001), (111), (110) 对于立方和四方晶体
• (0001), (1102), (1120), (1010) 对于六边形晶体

其他米勒指数值较高的取向或邻近衬底 定位精度:±0.5°，典型< 0.3°，或更高的要求 衬底/晶片典型尺寸

• 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm, 10 mm x 5 mm, 15 mm x 15 mm
• 12,7 mm x 12,7 mm, 20 mm x 20 mm, 25 mm x 25 mm, ø1", ø2"

侧向公差: +0/-0.05 mm 衬底/晶片标准厚度

• 0.5 mm, 1.0 mm, 其他厚度可根据要求降至0.1毫米

垂直公差:+/- 0.05 mm，或更高要求 衬底/晶片抛光:

• 表面抛光的一面或两面
• 表面质量:放大50倍无划痕
• 显微粗糙度(用干涉仪显微镜测量)
• (横向分辨率:0.64µm，纵向分辨率:理论0.01nm)
• 粗糙度: ( λ_cut off =0.08 mm)

          R_a: < 0.5 nm

          R_q : < 1.0 nm

          R_t : < 2.0 nm

• 每批都有粗糙度证书
• 根据要求对侧面(圆柱体)进行光学抛光。

衬底的应用

找到按性质和应用分类的衬底。 超导薄膜的制备

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
Al2O3	Aluminium oxide	Sapphire
CaF2	Calcium fluoride	Fluorspar
LaAlO3	Lanthan aluminate	LAL
(La,Sr)(Al,Ta)O3	Lanthanum strontium aluminium tantalate	LSAT
MgAl2O4	Magnesium aluminate	Spinel
MgO	Magnesium oxide	Periclase
SrTiO3	Strontium titanate	Fabulite, Tausonite
SrTiO3:Nb	Niob doped Strontium titanate	-
TiO2	Titanium dioxide	Rutile
Y3Al5O12	Yttrium Aluminium Garnet	YAG
YAlO3	Yttrium Aluminium Perowskite	YAP
ZrO2:Y	Yttrium stabilised Zirkonium dioxide	YSZ

  III-V型氮化物半导体薄膜的制备

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
Al2O3	Aluminium oxide	Sapphire
LiAlO2	Lithium aluminate	-
MgAl2O4	Magnesium aluminate	Spinel
MgO	Magnesium oxide	Periclase
Si	Silicon	-
SiC	Silicon carbide	-

  衬底为II-VI化合物半导体/半导体 化学式

	化学名称	非科学-/ 矿物名称
BaTiO3	Barium titanate	BTO
CdS	Cadmium sulfide	Greenockite
CdSe	Cadmium selenide	Cadmoselite
CdTe	Cadmium telluride	-
Ge	Germanium	-
Si	Silicon	-
ZnO	Zinc oxide	Zincite
ZnS	Zinc sulfide	-
ZnSe	Zinc selenide	-
ZnTe	Zinc telluride	-

  压电/铁电基板 压电的

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) - xPbTiO3	Lead magnesium niobate – lead titanate	PMN-PT
α-SiO2	Silicon dioxide, single crystalline	Alpha-quartz

  铁电的

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
BaTiO3	Barium titanate	BTO
LiNbO3	Lithium niobate	LN
LiTaO3	Lithium tantalate	LT

  闪烁体

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
YAlO3:Ce	Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite	YAP:Ce

  非晶基板

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
Al2O3	Aluminium oxide ceramic	Sapphire ceramic
SiO2	Silicon dioxide	Amorphous Quartz glass

  双折射衬底

化学式	化学名称	非科学-/ 矿物名称
Al2O3	Aluminium oxide	Sapphire
LiNbO3	Lithium niobate	LN
MgF2	Magnesium fluoride	Sellaite
α-SiO2	Silicon dioxide, single crystalline	Alpha-quartz
TiO2	Titanium dioxide	Rutile
YVO4	Yttrium Orthovanadate	YVO

 

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