美国 Kimball Physics 电子枪电子束发生系统 EFG-7 EGPS-1017

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描述： 聚焦或均匀广角低能电子束 10 eV至1500 eV 应用： 表面物理研究真空物理实验电荷中和电子解吸表面擦洗荧光粉测试电离实验半导体加工 功能/选项： 可广泛控制的参数泛光梁或窄角梁静电聚焦偏转、光栅、脉冲可拆卸枪计算机/远程控制能量范围：10 eV至1500 eV 束流/光斑尺寸：1 nA至100µA 光斑尺寸：1mm至100mm 安装：2.75英寸（2¾英寸）CF，可拆卸选项功能/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲 Kimball Physics EFG-7电子枪及其配套的EGPS-1017电源可用于各种超高真空（UHV）物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可以在很宽的范围内独立调节。 EFG-7电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光束。枪的设计允许产生低能量、低电流的光束。标准型号EFG-7产生1 nA至100μa的束流和10 eV至1500 eV的能量。高电流选项提供高达1 mA的束流。定心、偏转、光栅和脉冲都是可选的。由于该设计已被优化为泛光枪，并使用了圆柱形四极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。特高压技术贯穿始终。对于标准Ta盘阴极，该枪可以在10-15torr至10-5torr的真空中运行。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。使用法拉第杯时，除非移除，否则最高温度为65℃。