Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck

Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC WPWC300 夹具

Wet Processing Wafer Chuck - WPWC

For KOH or TMAH or HF etching

Wafer size: 300mm (notch)

Wafer thickness: to be defined +/- 120um

Edge exclusion: 5 mm

Backside protected

Ventilation tube length 150mm

Sealing rings KOH or TMAH or HF resistant

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