Idonus Sarl Waferholder 100mm size with electrostatic clamping mechanism for single chips and wafers VPE-EC200 夹具

Waferholder 100mm size with electrostatic clamping mechanism for single chips and wafers;
Max echuck size diameter 110mm
includes controller unit and adapter ring for VPE200
Mechanical clamping ring 200mm waferHydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size
200mm / 8''Hydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size
200mm / 8''

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Idonus Sarl

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