Lattice Electro Optics, Inc. Excimer Laser Mirrors KrF (248nm) RX-248-45-UF-2038 激光反射镜

Specifications

 

Material:

VUV CaF2, UV Fused Silica

Parallelism:

< 3 arc min

Clear Aperture:

> 85% of central dimension

Chamfer:

0.3mm ´ 45°

Surface Figure:

l/10 at 632.8nm

Surface Quality:

20-10 for VUV CaF2

10-5 for UV Fused Silica

Power:

Up to 1J/cm2, ArF

Up to 4J/cm2, KrF

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