美国 Nonsequitur Technologies,离子枪1401 型,NTI 离子枪,电能 < 10kV,用于表面化学实验,通用溅射
美国 Nonsequitur Technologies,离子枪1401 型,NTI 离子枪,电能 < 10kV,用于表面化学实验,通用溅射
离子枪
NTI 离子枪用于材料研究、表面分析和太阳风模拟等应用。它们是按订单制造的，我们很乐意根据您的需求定制系统
电能 < 10kV
1401 型：通用溅射
1401 型非常适合用于表面化学实验，例如使用 Auger 和 ESCA 进行样品制备和深度剖析。可与惰性气体一起使用
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高电流密度 15 至 50 mA/cm²，具体取决于所选的光斑尺寸。
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独特的离子源设计，发射稳定。
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双钨丝，典型钨丝寿命> 500 小时。氧化钇涂层铱可选。可更换光束调整孔径，典型使用寿命> 500 小时。
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制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料。
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差速泵送，以最大限度地减少主室气体负载。
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喷枪易于拆卸进行维护。
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电气连接和进气口位于单个法兰上，便于安装。
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预设的提取和聚光镜参数（三种光斑大小设置），可实现可重复操作。积分光束电流测量。
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直接测量离子源压力。
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系统和电缆联锁装置可防止在真空不良或电缆移除的情况下通电。
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电源和光栅发生器位于单个 51/4 高的 19 英寸机架安装外壳中。
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数字生成的光栅选项，用于均匀的蚀刻轮廓。计算机控制选项。可选的离子源压力调节
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元件
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描述
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工作距离
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25 毫米
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光束能量
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≤5KeV 无级变速
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栅格大小
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4 x 4 毫米（最小）
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安装法兰
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70 毫米（2.75 英寸）平底
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差速泵送
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70 毫米（2.75 英寸）Conflat
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供气入口
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34 毫米（1.33 英寸）平底
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源气
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He， Ne， Ar， Kr， Xe
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烘烤温度
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最高 150 °C
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输入功率
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115/220 伏交流电自动选择操作。熔断电流为 3.3A
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光束能量
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0 - 5000V 开关模式电源连续可变。O/P 电流：最大 1 mA。O/P 电容：0.0047 μF。
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冷凝器
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0 - 5000V 开关模式电源连续可变。O/P 电压随能量而变化。O/P 电流：最大 1 mA。O/P 电容：0.0047 μF
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目标聚焦
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0 - 5000V 开关模式电源连续可变。O/P 电压随能量而变化。O/P 电流：最大 1 mA。O/P 电容：0.0047 μF
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灯丝功率
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带有前面板可选灯丝的辐射调节电源，最大电压为 5 V @ 5A。
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电子效应
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内部可调的加速电压和发射电流前面板计量。
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离子萃取
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内部可调至 1500V。
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法拉第收集器
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前面板瞬时开关允许通过面板安装的显示器监控光束电流。
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挠度
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可变双极 350V 直流电源，用于 +X、-X、+Y 和 -Y 偏转。其余的八极子元件由电阻分压器网络供电。
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联 锁
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HV 电缆断开会关闭 HV 电源。可调节的高压联锁装置可在系统超压时关闭高压电源。 系统和辅助联锁装置可在系统或辅助设备发生故障时完全关闭。
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前面板监控
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数字面板仪表可对所有关键参数进行精确监控，包括;镜头电压（41/2 位）、离子源压力和束流（31/2 位）、灯丝电流和电压（31/2 位）、发射电流（31/2 位）。
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机箱尺寸
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483（宽） x 132.5（高） x 435.4（深）毫米。19 英寸机架式桌面机箱 3U 高
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