美国 Kimball Physics 电子枪电子束发生系统 EGH-8103 EGPS-8103

描述： 可聚焦高能电子束，光斑尺寸小至60μm 10keV至100keV 应用： 普通真空物理学辐射研究地面轰炸半导体研究生物样本辐照 X射线生成等离子体激发荧光研究表面物理研究 功能/选项： 小斑点尺寸低至60μm 束电流高达1mA 静磁聚焦静磁偏转磁性透镜脉冲能力操作过程中的内部对齐用户可更换的射击装置计算机/远程控制差动泵能量范围：10keV至100keV 束流/光斑尺寸：标准：10 nA至100µA/标准：60µm至10 mm 大电流：10 nA至1 mA/大电流：500µm至10 mm 安装：6.0英寸CF安装 Kimball Physics EGH-8103电子枪及其配套的EGPS-8103电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-8103在空间材料测试、辐射研究、半导体研究、x射线产生和等离子体激发方面有应用。该枪使用难熔金属或六硼化镧（LaB6）阴极来产生高能、可聚焦、小点的电子束。束能量和束电流都可以在宽范围内独立调节；能量从10keV到100keV，电流从10nA到1mA。电子束可以通过控制栅极的输入信号进行脉冲。该枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪打开光束的情况下实时完成。喷枪设计提供了源区的差动泵送，源室上有一个4.5英寸的CF法兰，用于连接涡轮泵。电离计和其他选项有三个2.75英寸CF法兰。喷枪通常安装在6.0英寸CF法兰上，插入长度为零，不延伸到真空室中。