瑞典PiezoMotor Piezo LEGS® LTC450压电电机 450N真空兼容直线驱动器
450N，真空兼容直线驱动器
Piezo LEGS® LTC450 可在 20 毫米行程内提供 450 N 负载能力及纳米级分辨率。
Acuvi Piezo LEGS 直线 450N 压电电机
面向半导体行业的亚纳米级精度
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真空兼容
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450 N 推力
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分辨率低至亚纳米级
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20 mm 行程
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自锁功能
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无背隙
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真正的直接直线驱动
该驱动技术为直接驱动，无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式运行，将完整波形步进细分为纳米级增量。速度范围可从每秒数纳米至每秒数毫米，在整个动态范围内均可平滑控制，无需切换驱动模式。
其双联结构设计在紧凑机身内实现了高推力输出，本例中堵转力达 450N。这使得设计更坚固，且无需滚珠轴承。
它采用直接驱动，无背隙，可实现亚纳米级的微步进。专为真空环境设计。
断电时提供大于 450 牛顿的全力自锁安全功能，此为设计固有特性。
Piezo LEGS® LTC450 重载直线驱动器 规格参数
| 类型 | 真空版 (D) | 单位 | |
|---|---|---|---|
| 最大行程 | 20 | 毫米 | |
| 最大速度（取决于驱动器） | 0.2 | 毫米/秒 | |
| 最小速度（取决于驱动器） | 1 | 微米/秒 | |
| 堵转力 | 450 | 牛 (N) | |
| 保持力 | >450 | 牛 (N) | |
| 真空兼容性 | 是 | 10⁻⁷ 托 (torr) | |
| 非磁性 | 否 | ||
| 工作电压 | 42-49 | 伏 (V) | |
| 功耗 | 300 | 毫瓦/赫 (mW/Hz) | |
| 机械尺寸 L×H×D（带导轨和编码器） | 不适用 | 毫米 | |
| 机械尺寸 L×H×D（无导轨和编码器） | 98 × 50 × 50 | 毫米 | |
| 重量（带50毫米驱动杆） | 1060 | 克 | |
| 电机外壳材质 | 不锈钢 | ||
| 推荐工作温度 | +10 至 +70 | 摄氏度 (ºC) | |
| 电机连接器 | 焊接电缆，带 JST 05SR-3S 接头 | ||
| 编码器连接器 | |||
| 电机分辨率 | <1 | 纳米 (nm) | |
| 内置编码器 | 否 | ||
| 编码器分辨率 | 不适用 | 微米 (µm) |
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