波兰 PREVAC 磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system，用于可重复的薄膜层应用

PREVAC 磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system是一款使用简单但功能齐全的溅射沉积单元，用于可重复的薄膜层应用。即插即用紧凑型设计。 磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system工艺室包含3个用于磁控溅射源（用于金属和无机物）的端口，安装在向下溅射配置中。最多同时使用两个源（共沉积）衬底台适用于直径不超过2英寸的样品，可选择加热和旋转。快速泵送系统（带手动节流阀）与小体积的工艺室相结合，使您能够在短时间内达到基本压力。工艺室配有高压标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括：多达3个磁控管源2“，基板操纵器，泵送系统，防止交叉污染的防护罩，石英天平，视口–带快门的观察窗口，真空计，高温计 磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system主要特征： 插头和工作结构易于使用的移动单元，用于快速测试和溅射涂层带有大型真空门的处理室，便于更换目标或基板配备MS2 100 ISO-K磁控管电源和新型M600DC-PS电源用于直径不超过2〃样品的衬底台工艺室直径：dst 355 mm 用于2英寸磁控管源的3个端口 1个视口-带快门的观察窗口防止交叉污染的防护罩基本压力范围10-7毫巴带真空计的快速泵送系统 Ar气体质量流量控制自动加药车轮上的刚性主框架使系统易于放置手动节流阀