美国MCALLISTER 电子束电子设备 (E-Beam Electronics)，灵活且易于使用

电子束电子设备 (E-Beam Electronics)

0-24V
0-10A 灯丝电源
19 英寸机架安装式
0-1000V @ 125 mA 偏压，包含电缆
请指定 110 或 220 VAC

灵活且易于使用 (Flexible and Easy to Use)

这款紧凑型电子束蒸发器是一种兼容超高真空 (UHV) 的源，用于受控沉积金属、部分半导体和绝缘体。由于其尺寸小巧且采用 2¾" (CF38) 法兰安装，它几乎可以适配任何现有的超高真空腔体。它易于使用和维护，包含水冷、一体式挡板以及所有电气和机械馈通。

坩埚或实心棒 (Crucible or Solid Rod)

蒸发是通过电子轰击耐火坩埚（可提供多种材料）或实心棒/丝来激发的，其中坩埚内装有蒸发材料，实心棒/丝则施加高达 1000 VDC @ 125 mA（125 瓦）的电压。待蒸发材料居中放置在一个易于更换的灯丝中，该灯丝的功率在 0-12 伏、0-12 安培范围内无级可调。

用户无需拆卸整个源即可补充蒸发材料。设备包含一个线性驱动装置，可使蒸发材料相对于灯丝移动，从而提供电子束的聚焦调整。控制单元前面板上设有双仪表，用于显示灯丝电流和束流/电压。更多信息请参阅随附的用户手册。

通量监测器 (Flux Monitor)

蒸发材料通量中的一个小电极会收集部分电离环境中存在的离子。经过初始校准后，此功能可快速、轻松地恢复到已知的沉积速率。

紧凑尺寸 (Compact Size)

整个组件安装在标准 2¾" CF 法兰上，并可穿过 1½" 管道的净内径 (Clear ID)。水/电接口、电源、热电偶和波纹管密封挡板均位于便利的位置。灯丝块可轻松拆卸，以便更换/替换蒸发材料。由于在 McAllister Technical Services，定制制造的费用通常不高于标准产品，因此可在订购时指定法兰到尖端的距离。

美国MCALLISTER 可更换式坩埚蒸发器美国MCALLISTER 迷你 (CF16) 法兰，行程为0.5英寸和1.0英寸