奥地利 KML Linear Motion Technology 单轴解决方案 高速 LMS 最动态的运动 最高的定位精度 系统刚性高 最低的颗粒物排放
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高速直线电机系统设计用作半导体制造机器中的进给轴,以实现卓越的生产率和工艺可靠性。
除了通常的客户要求,如移动质量、行程范围、周期定义等。必须考虑其他特性。例如,这些是:
- 极其紧凑的设计
- 最高的同步质量(齿槽效应)
- 免维护
- 快速调试
- 绝对位置反馈
- 用于客户特定电缆的电缆管理
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