美国 Lattice Electro Optics Excimer Laser Cavity Optics 准分子激光腔光学

 美国 Lattice Electro Optics

Excimer Laser Cavity Optics

准分子激光腔光学

 

参数

  
材料: VUV CaF2
平行度： < 3 arc min.
净孔径： > 80% of central dimension
倒角： 0.3mm ´ 45°
表面图形： l/10 at 632.8nm
表面质量： 20-10 scratch-dig
功率： Up to 1-4 J/cm2
 

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美国 Lattice Electro Optics Excimer Laser Cavity Optics 准分子激光腔光学

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