美国 HEATWAVE HWIG-1407 离子枪
HWIG-1407 离子枪
电子撞击源的性能达到双电子管水平 可调光斑尺寸 = 15µm,用于空间定义溅射 发射调节轰击提供稳定的离子电流,前面板动态范围 x300 可调 连续可变的束流能量高达 5keV 用于光束扫描和散光校正的双八极镜 预物镜偏转可缩小光斑尺寸 内置光束电流监测功能 没有灯丝与样品的直接视线,以避免不必要的样品污染 可更换的光束微调光圈,一般使用寿命大于 500 小时 双灯丝提供操作备份,灯丝寿命一般大于 500 小时 内部源压力传感器可监测离子源压力 所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造 差分泵送,最大限度地减少主腔气体负荷 可在各种惰性气体范围内运行 性能保证,5.0 千伏氩离子:询价采购美国 HEATWAVE HWIG-1407 离子枪
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