Prevac厚度监视器TM13和TM14

厚度监视器TM13和TM14

TM13和TM14器件包括:石英振荡器、频率测量系统和通信接口。它连接到石英谐振器的输入元件。测量结果通过RS232传输到主设备:PC或TMC13控制器。通过TMC13控制器或PC进行远程控制。专用于精确速率测量的可用软件。记录石英谐振器的频率随时间的变化(以图表的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发率。适用于MBE等应用。

特征

TM13
  • 频率分辨率:0.1赫兹
  • 每秒测量次数:4(固定)
  • 石英振荡器的最大频率:6 MHz
  • 稳定性:0.5 ppm
TM14
  • 频率分辨率:0.01赫兹
  • 每秒测量次数:0.5、1、2、4、10(可选)
  • 石英振荡器的最大频率:6 MHz
  • 稳定性:0.5 ppm
Power supply 5V DC
Current consumption max 500 mA
TM13 TM14
Thickness resolution 0.1 Å 0.01 Å
Rate resolution 0.1 Å/s 0.01 Å/s
Frequency resolution 0.1 Hz 0.01 Hz
Frequency stability 0.5 ppm 0.5 ppm
Number of measurements per second 4 0.5; 1; 2; 4; 10 (selectable)
Communication Interface RS232
Dimensions [mm] 80.0 x 50.0 x 27.0 mm (W x H x D)
Weight (approx.) 0.1 kg

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Prevac厚度监视器TM13和TM14

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