半球形能量分析仪EA15-HP5 高分辨率 PES 测量 MCP-CCD 探测器 HiPace 300 涡轮分子泵

半球形能量分析仪EA15-HP5 高分辨率 PES 测量 MCP-CCD 探测器 HiPace 300 涡轮分子泵

EA15-HP5 允许在高达 5 mbar 的静态和动态环境中进行高分辨率 PES 测量。 该分析仪总共配备了 11 个狭缝，可以在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择。根据给定的光电子能量，分析仪设置了多达8个预定义的PE，以满足客户的要求。 EA15半球形能量分析仪可由LabVIEW编程环境直接控制。 注意： 建议将μ金属分析真空室或内部μ金属屏蔽室与PREVAC EA15-HP1半球形能量分析仪结合使用，以最大程度地减少外部磁场的影响并最大限度地提高分析仪的性能。 套件包括：

• EA15-HP5 150毫米半球形能量分析仪，
• RUDI-EA2高稳定和低噪声电子，SPECTRIUM采集和分析仪控制软件，
• 用于Windows操作系统计算机系统，
• 计算机套装。

技术规格：

安装法兰	DN 100 CF
烘烤温度	最高 120 °C
工作距离	1-2 毫米（取决于锥体开口）
分析仪平均半径	150 毫米
传递能量 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES*	20， 50， 100， 200 eV1， 2， 5， 10， 20， 50， 100， 200 eV
能源分辨率 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES*	< 20 meV FWHM< 3 meV FWHM
动能范围	0.5 – 3000 eV
采集模式	固定，扫描
透射和角度镜头模式： ▫镜头接受角度（透射模式）	+/- 15°
光圈光圈	从 1 毫米到 32 毫米
完全由非磁性材料设计

探测器：

• MCP-CCD 探测器 – 40 mm 直径双 MCP 探测器 – 656 个能量通道同时可用 – 494 个角度通道同时可用 – 90 fps
•  7-MCD 探测器（用于特高压）
• Detektor DLD（用于 UHV） – 固定模式下的最大能量窗口：~17% 通过能量 – 56 mm 直径探测器，带 7 个通道加速器 – 施加电压：2.5-3.5 kV

选项： EA15-HP5 3级泵送系统的泵送系统，带有所有必要的泵，压力测量系统和附件，使分析仪能够在要求的压力范围内工作（从UHV到5毫巴）。系统包括：

• 分析仪泵送系统第一级（透镜）
• HiPace 300 涡轮分子泵（N 的抽速为 260 l/s₂)
• 增值税闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的气动阀
• nXDS6i 爱德华兹前真空干泵（标称抽速为 6 m3/h）
• 油管和布线，
• 自动安全阀和排气阀，
• 分析仪泵送系统第二级（透镜）
• HiPace 300 涡轮分子泵（N 的抽速为 260 l/s₂)
• 增值税闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的气动阀
• 自动安全阀和排气阀，
• 分析仪泵送系统第三级（半球）
• HiPace 300 涡轮分子泵（N 的抽速为 260 l/s₂） 带减速器
• 增值税闸阀 DN 63CF – 用于 TMP 泵的气动阀
• nXDS6i 爱德华兹前真空干泵（标称抽速为 6 m3/h）
• 油管和布线，
• 自动安全阀和排气阀，
• 真空计
• 3x 皮拉尼真空计 TTR91N，用于前真空，
• 3x PTR90N – 宽量程仪表
• 用于控制泵送系统的电子微处理器设备（前真空泵、特高压泵、阀门和真空计）。该装置包括多个联锁装置，用于在电源故障或其组件发生故障时保护真空系统。
• 分析室和分析仪之间的旁路：管道和安全阀

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