Piezodrive 压电管扫描仪

Piezodrive 压电管扫描仪

Piezodrive 压电管扫描仪是径向极化的压电材料制成的薄壁圆柱体，具有四个外部电极和一个连续内部电极。当在其中一个外部电极施加电压时，管的自由端会向施加电压的方向弯曲。垂直延伸可通过向所有外部电极施加相同电压，或向内部电极施加电压来实现。

Piezodrive 压电管扫描仪广泛用作扫描探针显微镜中的 XYZ 纳米定位器，也用于显微操作和光束扫描等其他应用。压电管可单独订购，也可选择带接线和连接器的版本（用于连接 TD250-INV 放大器），并提供安装表面以便于组装。还可根据要求定制尺寸和/或电极配置。

订购代码	长度 (1)	直径 (2)	壁厚 (3)	电极间隙 (4)	最大电压 (5)	扫描范围 (6)	延伸范围 (7)	谐振频率 (8)	象限电容 (9)
TB1006-N	10.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	3.2 µm	2.1 µm	31 kHz	3 nF
TB2006-N	20.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	13 µm	4.2 µm	7.7 kHz	4 nF
TB3006-N	30.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	29 µm	6.3 µm	3.4 kHz	6 nF
TB4006-N	40.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	51 µm	7.4 µm	1.9 kHz	6 nF
TB5006-N	50.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	80 µm	11 µm	1.2 kHz	10 nF
TB6006-N	60.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	114 µm	13 µm	850 Hz	11 nF
TB10006-N	100.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	0.7 mm	±260 V	318 µm	21 µm	310 Hz	19 nF

压电管配 TD250-INV 放大器接线示意图

由 TD250-INV 放大器驱动的压电管接线方案如下：

X 轴偏转：由 In1 信号（±10V）控制，在 +X 电极上产生同相 ±250V 信号，在 -X 电极上产生反相 ±250V 信号。当 In1 为 +10V 时，压电管向 +X 电极方向 产生最大偏转；当 In1 为 -10V 时，向 -X 电极方向 产生最大偏转（如图所示）。
Y 轴偏转：驱动方案与 X 轴完全相同（由 In3 和 In4 控制）。
Z 轴（垂直）偏转：由 In5（0V 至 -10V）控制，在内部电极上产生最高 -250V 的负电压，产生等于垂直行程范围一半的收缩量。

注意：当三个轴同时驱动时，垂直行程范围只能使用一半。

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